Зміст:
Визначення - Що означає нанолітографія?
Нанолітографія - це галузь нанотехнологій та назва процесу нанесення зображень, написання чи травлення на мікроскопічному рівні з метою створення неймовірно невеликих структур. Цей процес зазвичай використовується для створення менших та швидших електронних пристроїв, таких як мікро / наночіпи та процесори. Нанолітографія використовується в основному в різних галузях технології - від електронних до біомедичних.Техопедія пояснює нанолітографію
Нанолітографія - це широкий термін, що використовується для опису різних процесів створення нанорозмірних візерунків на різних середовищах, найпоширенішим з яких є кремній напівпровідникового матеріалу. Переважною метою нанолітографії є скорочення електронних пристроїв, що дозволяє вбувати більше електронних деталей у менші простори, тобто менші інтегральні схеми, що призводять до менших пристроїв, які швидше і дешевше виготовити, оскільки потрібно менше матеріалів. Це також збільшує продуктивність і час відгуку, оскільки електронам потрібно проїхати лише дуже короткі відстані.
Деякі методи, що застосовуються в нанолітографії, такі:
- Рентгенологічна літографія - реалізована завдяки наближеному друкарському підходу та спирається на рентгенівські випромінювання поблизу поля у дифракції Френеля. Відомо, що він розширив оптичне дозвіл до 15 нм.
- Подвійне малювання - метод, що використовується для збільшення роздільної здатності літографічного процесу шляхом друку додаткових шаблонів між пробілами вже надрукованих візерунків в одному шарі.
- Електронно-променева літографія (EBDW) - Найпоширеніший процес, що використовується в літографії, який використовує пучок електронів для створення візерунків.
- Екстремальна ультрафіолетова (EUV) літографія - форма оптичної літографії, яка використовує ультракороткі довжини світлових хвиль 13, 5 нм.
