Зміст:
- Визначення - Що означає мікроелектромеханічна система (MEMS)?
- Техопедія пояснює мікроелектромеханічну систему (MEMS)
Визначення - Що означає мікроелектромеханічна система (MEMS)?
Мікроелектромеханічна система (MEMS) - це крихітний механічний модуль, який приводиться в дію електрикою. NEMS об'єднує комп'ютери з механічними модулями, такими як датчики, пускачі та дзеркала. Це економічно вигідні системи, що використовують модифіковану технологію виготовлення пристроїв.
MEMS має різноманітне використання та використовує широкий спектр підходів до проектування виготовлення, використовуючи різні компоненти, мініатюризацію та нові стандартні інтегровані електромеханічні системи. MEMS можна використовувати для вологого травлення, наприклад, гідроксиду калію (KOA), сухого травлення, такого як травлення глибокореактивних іонів (DRIE), лиття та покриття, електророзрядних машин (EDM) та інших технологій, що виробляють невеликі пристрої.
Мікроелектромеханічна система може також називатися мікроелектронною системою, мікромашиною, технологією мікросистем або розумною речовиною.
Техопедія пояснює мікроелектромеханічну систему (MEMS)
MEMS може бути меншою за ширину людського волосся і може включати кілька компонентів, таких як:
- Мікросенсори
- Мікроакуатори
- Мікропроцесори
- Центральні підрозділи для обробки даних
- Компоненти для взаємодії із зовнішніми елементами
MEMS мають велике співвідношення площі поверхні до об'єму і побудовані за технологією виготовлення кремнію.
Пристрій MEMS включає мікроциркуляцію, розміщену на невеликій кремнієвій мікросхемі, що використовується з механічними компонентами. Ця технологія підтримує велику різноманітність пристроїв, які керують, чують або активують механічні процеси, функціонуючи як масив, так і окремо.
В даний час MEMS включає в себе одну окремий мікросенсор або мікроакуатор у своїй архітектурі, але в майбутньому може виникнути більш складний рівень засвоєння. Наступною розробкою може бути включення багатьох індивідуальних особливостей в одну систему.
